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旋轉軸多自由度誤差量測系統及其方法

專利國別: 中華民國  瀏覽人次: 67  發表日期: 2019-12-27 15:20:40  最後修改: 2019-12-27 15:25:08

項目 內容
本校案號 P106003
發明人 劉建聖、陳昱達、林昱翔
所屬院 工學院
所屬系所 前瞻製造系統頂尖研究中心
類型 發明
申請號 107122714
申請日期 2018-04-13
公開號 201944047
公開日期 2019-11-16
證書號 I677671
核准日期 2019-11-21
國際分類號 G01M-011/02(2006.01);G01P-003/36(2006.01)
專利權期間 2019.11.21~2038.04.12
專利摘要 本發明提供一種旋轉軸多自由度誤差量測系統及其方法,其藉由產生一第一光束、一第二光束與一第三光束,以讓旋轉軸上所設置之多面反射鏡與圓錐形透鏡(Axicons)分別接收該第一光束、該第二光束與該第三光束,因而產生反射光束與折射光束、第一出射光束與第二出射光束,藉此量測圓錐形透鏡因旋轉軸偏移或振動所導致之複數自由度誤差,例如:X軸方向徑向誤差、Y軸方向徑向誤差、軸向誤差、對X軸傾斜誤差、對Y軸傾斜誤差與旋轉角度定位誤差。
專利權人 國立中正大學

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