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雙光柵感測器、檢測方法及其製備方法

專利國別: 中華民國  瀏覽人次: 6  發表日期: 2020-10-16 12:04:50  最後修改: 2020-10-16 13:36:03

項目 內容
本校案號 P107019
發明人 謝文馨、賴俞杏、李訓源
所屬院 工學院
所屬系所 機械工程學系暨研究所
類型 發明
申請號 108101256
申請日期 2019-01-11
公開號 202026640
公開日期 2020-07-16
證書號 I687687
核准日期 2020-03-11
國際分類號 G01N-033/483(2006.01);G01B-009/02(2006.01)
專利權期間 2020.03.11~2039.01.10
專利摘要 本發明係揭露一種具有兩個以上光柵的雙光柵之感測器,用以檢測一待測物之性質,其中雙光柵感測器包含基板、形成於基板上且具有兩個雙面光柵結構之波導層、以及設置於波導層上的上蓋,波導層與上蓋之間形成供待測物流通的流道。當一光線藉由第一雙面光柵結構耦合入波導層,並於波導層中傳遞後,再由第二雙面光柵結構耦合出波導層,使雙光柵感測器藉由耦合出波導層之光線之光強度變化,以檢測待測物之性質。
專利權人 國立中正大學

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