專利國別

  中華民國   

發表日期

2013-03-21 09:58:51

本校案號

P97014

專利名稱

檢測研磨墊之研磨特性及使用壽命的方法

發明人

鄭友仁、林育萱、黃培堯、林育正

所屬院

工學院

提案單位

機械工程學系暨研究所

類型

發明

專利權人

國立中正大學

申請號

098141405

申請日期

2009-12-03

公開號

201119796

公開日期

2011-06-16

證書號

I381904

核准日期

2013-01-11

國際分類號

B24B-037/20(2012.01)；B24B-049/16(2006.01)；G01N-003/32(2006.01)

專利權期間

2013.01.11~2029.12.02

專利摘要

一種檢測研磨墊之研磨特性及使用壽命的方法，包含有下列步驟：(A)備置已知研磨特性的一全新研磨墊，對該全新研磨墊依序進行具有不同震盪頻率及負載的震盪試驗，並於執行每次震盪試驗時，並偵測該全新研磨墊的表面的反應，並配合該全新研磨墊的已知研磨特性，建立一比對資料庫；(B)備置用以研磨一被研磨工件的一待測研磨墊，對該待測研磨墊進行具有一預定震盪頻率及一預定負載的一震盪試驗，之後偵測該待測研磨墊的表面的反應；以及，(C)將步驟(B)之待測研磨墊的表面的反應與步驟(A)中的比對資料庫進行比對，藉以判定該待測研磨墊的研磨特性及使用壽命。藉此，本發明之方法可使得待測研磨墊不再需要進行大量的實際研磨試驗，即可被快速地預估其研磨特性及壽命，藉此大幅節省時間及成本。

圖示