專利國別

  中華民國   

發表日期

2013-04-24 12:10:51

本校案號

P98056

專利名稱

用於監測工具機之壓電式圓頂薄膜音頻感測器製造方法

發明人

馮國華、林志典、陳政雄

所屬院

工學院

提案單位

先進工具機研究中心

類型

發明

專利權人

國立中正大學

申請號

099123100

申請日期

2010-07-14

公開號

201201953

公開日期

2012-01-16

證書號

I389763

核准日期

2013-02-21

國際分類號

B23Q-017/12(2006.01)；H04R-017/00(2006.01)

專利權期間

2013.03.21~2030.07.13

專利摘要

一種用於監測工具機之壓電式圓頂薄膜音頻感測器製造方法，透過微製程技術製作一矽晶圓框架，再透過與各尺寸的剛性球體搭配，成型出不同圓頂的曲率並製作出一壓印膜仁，於該矽晶圓框架上進行灑上蠟料與圓頂形狀成型的動作以形成一具支撐層的圓頂薄膜，於該矽晶圓框架透過該壓印膜仁而於該支撐層上形成一耐熱矽膠，再透過反覆噴灑一鋯鈦酸鉛溶液與經過烘烤的方式，於該矽晶圓框架上形成一壓電薄膜，藉以構成一有有聚焦效果、可批量生產且節省成本之壓電式圓頂薄膜音頻感測器製造方法及其製造方法者。

圖示