專利國別

  中華民國   

發表日期

2019-12-27 15:20:40

本校案號

P106003

專利名稱

旋轉軸多自由度誤差量測系統及其方法

發明人

劉建聖、陳昱達、林煜翔

所屬院

工學院

提案單位

前瞻製造系統頂尖研究中心

類型

發明

專利權人

國立中正大學

申請號

107122714

申請日期

2018-04-13

公開號

201944047

公開日期

2019-11-16

證書號

I677671

核准日期

2019-11-21

國際分類號

G01M-011/02(2006.01)；G01P-003/36(2006.01)

專利權期間

2019.11.21~2038.04.12

專利摘要

本發明提供一種旋轉軸多自由度誤差量測系統及其方法，其藉由產生一第一光束、一第二光束與一第三光束，以讓旋轉軸上所設置之多面反射鏡與圓錐形透鏡(Axicons)分別接收該第一光束、該第二光束與該第三光束，因而產生反射光束與折射光束、第一出射光束與第二出射光束，藉此量測圓錐形透鏡因旋轉軸偏移或振動所導致之複數自由度誤差，例如:X軸方向徑向誤差、Y軸方向徑向誤差、軸向誤差、對X軸傾斜誤差、對Y軸傾斜誤差與旋轉角度定位誤差。

圖示