專利國別

  中華民國   

發表日期

2020-08-06 10:25:55

本校案號

P107019

專利名稱

雙光柵感測器、檢測方法及其製備方法

發明人

謝文馨、賴俞杏、李訓源

所屬院

工學院

提案單位

機械工程學系暨研究所

類型

發明

專利權人

國立中正大學

申請號

108101256

申請日期

2019-01-11

公開號

202026640

公開日期

2020-07-16

證書號

I687687

核准日期

2020-03-11

國際分類號

G01N-033/483(2006.01)；G01B-009/02(2006.01)

專利權期間

2020.03.11~2039.01.10

專利摘要

本發明係揭露一種具有兩個以上光柵的雙光柵之感測器，用以檢測一待測物之性質，其中雙光柵感測器包含基板、形成於基板上且具有兩個雙面光柵結構之波導層、以及設置於波導層上的上蓋，波導層與上蓋之間形成供待測物流通的流道。當一光線藉由第一雙面光柵結構耦合入波導層，並於波導層中傳遞後，再由第二雙面光柵結構耦合出波導層，使雙光柵感測器藉由耦合出波導層之光線之光強度變化，以檢測待測物之性質。

圖示