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專利國別 |
中華民國 |
發表日期 |
2026-11-06 |
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本校案號 |
P113022TW |
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專利名稱 |
具有可更換模組化外罩的電漿活性粒子產生裝置 |
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發明人 |
林昆模 |
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所屬院 |
工學院 |
提案單位 |
前瞻製造系統頂尖研究中心 |
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類型 |
發明 |
專利權人 |
國立中正大學 |
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申請號 |
114124309 |
申請日期 |
2025.06.27 |
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公開號 |
尚未公開 |
公開日期 |
尚未公開 |
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證書號 |
發明第I942354號 |
核准日期 |
2026.10.11 |
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國際分類號 |
H01J 37/32(2006.01); C01B 13/10(2006.01); H05K 5/10(2025.01); H05K 13/04(2006.01) |
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專利權期間 |
2026.10.11~2045.06.26 |
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專利摘要 |
一種具有可更換模組化外罩的電漿活性粒子產生裝置，主要具有一上殼體；一下殼體，以其頂部可拆卸地結合於該上殼體底部；一下蓋，以可拆卸的方式蓋合於該下殼體底部，該下蓋具有一接頭，該接頭具有一流道用以連接一出氣管；一電極固定座；一絕緣岐管，具有一立管段以及由該立管段向一側延伸的一支管段，該支管段的末端係穿過該反應氣體入口而露出於該上殼體外部；一高壓電極，有部分向下延伸入該立管段中；以及一低壓電極。 |
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圖示 |
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