【專利公告讓與】P96009-超薄鐵磁/反鐵磁耦合薄膜之結構及其製法

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專利國別 |
中華民國 |
發表日期 |
2022-12-20 09:49:57 |
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專利讓與 |
一、依據經濟部科學技術研究發展成果歸屬及運用辦法第22條規定辦理。 二、依據本校第347次智慧財產權審議委員會辦理。 三、公告日:2022年12月20日(星期二)。 四、讓與公告期間:自公告日起3個月。 五、敬請有興趣辦理受讓之廠商,或對受讓申請程序有任何疑問者,聯繫研發處技術推廣中心洽談,電話:05-2720411轉16501、16505。 |
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本校案號 |
P96009 |
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專利名稱 |
超薄鐵磁/反鐵磁耦合薄膜之結構及其製法 |
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發明人 |
蔡志申、李奇暐、陳恭 |
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所屬院 |
理學院 |
提案單位 |
台灣自旋科技研究中心 |
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類型 |
發明 |
專利權人 |
國立中正大學 |
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申請號 |
096141973 |
申請日期 |
2007-11-07 |
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公開號 |
200921718 |
公開日期 |
2009-05-16 |
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證書號 |
I394179 |
核准日期 |
2013-04-21 |
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國際分類號 |
H01F-010/16(2006.01);H01F-010/30(2006.01) |
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專利權期間 |
2013.04.21~2027.11.06 |
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專利摘要 |
一種鐵磁/反鐵磁耦合薄膜之結構及其製法,該結構包含基材、於700至900 K之溫度條件下,形成於基材表面厚度為2至15原子層(monolayers,ML)之氧化鈷反鐵磁層、以及形成於氧化鈷反鐵磁層表面至少1原子層之鈷膜鐵磁層。該方法係先於基材表面鍍上至少2原子層之第一鈷膜,接著使該第一鈷膜曝氧至飽和並於700至900 K之溫度條件下加熱使氧與鈷均勻化合形成厚度為2至15原子層之氧化鈷層,再於該氧化鈷層表面鍍上至少1原子層之第二鈷膜。所形成之薄膜結構經場冷卻後,利用表面磁光科爾效應儀(surface magneto-optic Kerr effect,SMOKE)進行磁性量測,發現磁滯偏移現象,為良好的鐵磁/反鐵磁薄膜。藉由調整反鐵磁層的厚度,可以改變交換耦合的強度,獲得鐵磁層與反鐵磁層交換耦合的最佳條件,適合用於製作磁記錄媒體。 |
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圖示 |
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