【專利核准公告】P92013-形成線性圖案的方法(已終止維護)

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專利國別 |
中華民國 |
發表日期 |
2009-06-24 10:00:50 |
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本校案號 |
P92013 |
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專利名稱 |
形成線性圖案的方法 |
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發明人 |
鄭榮偉、何正榮 |
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所屬院 |
工學院 |
提案單位 |
機械工程學系暨研究所 |
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類型 |
發明 |
專利權人 |
國立中正大學 |
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申請號 |
094101836 |
申請日期 |
2005-01-21 |
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公開號 |
200627072 |
公開日期 |
2006-08-01 |
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證書號 |
I265379 |
核准日期 |
2006-11-01 |
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國際分類號 |
G03F-007/16(2006.01) |
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專利權期間 |
2006.11.01~2025.01.20 |
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專利摘要 |
本發明揭露一種形成線性圖案的方法,名為「線性方向旋轉塗佈技術」。其係在一基板上先形成數阻隔堤,以定義出數溝槽;將基板垂直豎立於一旋轉盤之外緣;再將材料滴於溝槽一端,並轉動旋轉盤,以利用離心力將材料均勻塗佈於溝槽內之基板上,進而形成一線性圖案。且若使用二種以上同之材料,即可選擇性的在特定之不同溝槽塗佈形成不同材料的線性圖案,且其厚度可與習知之旋轉塗佈法所形成的厚度相當。 |
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圖示 |
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