專利國別

 中華民國  

發表日期

2026-11-06

本校案號

P113022TW

專利名稱

具有可更換模組化外罩的電漿活性粒子產生裝置

發明人

林昆模

所屬院

工學院

提案單位

前瞻製造系統頂尖研究中心

類型

發明

專利權人

國立中正大學

申請號

114124309

申請日期

2025.06.27

公開號

尚未公開

公開日期

尚未公開

證書號

發明第I942354號

核准日期

2026.10.11

國際分類號

H01J 37/32(2006.01); C01B 13/10(2006.01); H05K 5/10(2025.01); H05K 13/04(2006.01)

專利權期間

2026.10.11~2045.06.26

專利摘要

一種具有可更換模組化外罩的電漿活性粒子產生裝置，主要具有一上殼體；一下殼體，以其頂部可拆卸地結合於該上殼體底部；一下蓋，以可拆卸的方式蓋合於該下殼體底部，該下蓋具有一接頭，該接頭具有一流道用以連接一出氣管；一電極固定座；一絕緣岐管，具有一立管段以及由該立管段向一側延伸的一支管段，該支管段的末端係穿過該反應氣體入口而露出於該上殼體外部；一高壓電極，有部分向下延伸入該立管段中；以及一低壓電極。

圖示