專利國別

  中華民國   

發表日期

2019-08-15 16:09:11

本校案號

P104028

專利名稱

即時厚度量測系統

發明人

鍾政英、許佳振、蔡沛昌、林建宏、洪緯璿

所屬院

理學院

提案單位

物理學系所

類型

發明

專利權人

國立中正大學與金屬工業研究中心共有

申請號

101151063

申請日期

2012-12-28

公開號

201425862

公開日期

2014-07-01

證書號

I447346

核准日期

2014-08-01

國際分類號

G01B-011/06(2006.01)；G01B-011/30(2006.01)

專利權期間

2014.08.01~2032.12.27

專利摘要

本發明係揭露一種即時厚度量測系統。此系統包含輸送裝置、第一光學裝置、至少一第二光學裝置及計算模組。輸送裝置係用以輸送基板，且基板與輸送裝置之相對側具有薄膜。第一光學裝置與第二光學裝置分別對薄膜發射出第一雷射光與第二雷射光，並形成第一反射光及第反射光。第一雷射光、第一反射光、第二雷射光及第二反射光分別具有第一強度、第二強度、第三強度與第四強度。計算模組係藉由第四強度與第三強度擬合出的擬合曲線獲得膜厚，並藉由第二強度與第一強度之比值的變化率來獲得薄膜之膜厚均勻度。

圖示